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2020-09-08

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由于半导体的投入与产出都是非常的大,任何供气中断都会带来巨大的经济损失,尤其对大型集成电路芯片生产厂而言。因此在设计中必须充分考虑气体供应西西人体性爱运行的安全可靠性。若采用现场制气方式。

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经纯化后的大宗气体由气体纯化间送至辅助生产层(SubFAB)或生产车间(FAB)的架空地板下,在这里形成配管网络,再由二次配管西西人体性爱(Hook-up)送至各用户点。以我的设计经验,在设计中要着重考虑以下几个方面。

1、配管西西人体性爱的整体架构

目前,较为常见的架构有树枝型(图2)和环型(图3)两种。其中又数树枝型最为常用,其架构清晰,且与其它西西人体性爱的配管架构相似,利于整体空间规划。环型则能较好地保持用气点压力的稳定,但投资较高。因此在设计中应根据用气点的分布情况及用气压力要求综合考虑。例如,笔者在某200mm集成电路芯片生产厂的设计中,大宗气体配管西西人体性爱均采用树枝型架构。由于该FAB厂房很大,管线较长,而工艺氮气用气点较多,有一些用气点对压力要求也较高,因此对工艺氮气管路西西人体性爱特别采用了树枝型与环型相结合的方式,环型主管主要保证用气点的压力稳定,其管径可小于树枝型主管的管径,从而降低成本。

2、配管西西人体性爱的灵活性设计

微电子行业的发展非常迅速,经常会发生工艺设备更新、挪位和新增等状况。即使在整个工厂的建设中,最终的工艺设备分布也会与设计时相去甚远。这种行业的特殊性要求设计必须充分考虑其灵活性(Flexibility),能满足未来的扩展需求。

配管西西人体性爱的基本设计原则是在主管(Main),上按--定间距设置支管端(Branch),再在每个支管上按一-定间距设置分支管(BranchTake-off)供二二次配管使用。另外,主管的管径不必随流量的递减而采取渐缩设计。

当然大宗气体输送西西人体性爱设计不仅仅以上几点,在选材等其它方面也有很多讲究,这里就不一一列举。

大宗气体西西人体性爱的设计是整个半导体工厂设计中的一个重要部分,虽然整个西西人体性爱的流程并不复杂,但是其中任一环节的疏忽都可能会导致严重的后果。在设计中,必须在供气稳定、连续不中断的前提下,严格保证气体的品质,从而保障整个工厂生产的顺利进行。另外在成本方面也应有所考虑,力求达到安全性与经济性的平衡。